株式会社堀場製作所 · 2025年12月期
ガスの流れを重さで確かめるHORIBA
HORIBAは、自動車や半導体のメーカー、医療・研究機関などに分析・計測装置を届ける会社です。半導体製造では、装置に入るガスや液体の流量を制御する機器を供給しています。
その基準を、半導体装置の流量制御へ
重さの変化で確かめた基準を、流量の制御へ
校正のための測定
容器の質量が減る経過時間を測る
半導体メーカーの製造装置
供給ガス流量を制御成膜・エッチングなど
この測定を基準に、標準器を段階的に校正する
左は校正の原理、右は製品の利用場面です。二つの設備が同じ配管でつながる図ではありません。製品内部に電子天秤が入ることや、すべての製品をこの装置で直接測定することも示していません。
流量を確かめる設備にも、処理能力がある
増収の年に、研究開発費も増えた
測定・分析技術に使う研究開発費
連結研究開発費、2024年・2025年の実績。単位：億円。共通のゼロ起点。決算説明資料 PDF p.32。
流量を確かめる仕事と、その費用
校正の原理、顧客の工程、開発費用を分けて読む。
流体の計測・制御
- 測定の基準質量と時間から流量を求め、標準器を校正する
- 顧客の製造工程成膜・エッチングなどへ供給する材料の流量を制御する
- 研究開発校正・試験の能力を増やし、技術を開発する
THE VIEW AFTER THE NUMBERS
数字をつなぐと、こう見えた
HORIBAは、ガスが流れた量を質量と時間にさかのぼって確かめ、その基準を流量の校正に使います。半導体メーカーに届ける小さな制御機器の後ろには、真空、温度、振動まで管理する測定設備があります。
2025年にはマテリアル・半導体分野の売上が増えても、研究開発・技術投資の加速などで営業利益は減りました。HORIBAは、流れを制御する製品を供給するとともに、その流れを確かめる技術と設備を育てています。